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蒸发系统结构说明


镀膜机厂家表示,蒸发系统由金属铝蒸镀装置和运载小车等组成。

  金属铝镀膜装置包括十八组水冷蒸发电极以及安装在上面的十八只导电氮化硼坩埚,铝线馈送机构和水冷蒸发挡板等组件。铝线馈送机构将十八根铝线同步地连续不断送至分别对应的十八组氮化硼坩埚表面,使它们迅速加热得以蒸发。

  铝线的馈送速度可由操作者根据镀膜的具体要求连续无级的调节以达到最佳蒸发状态,十八组坩埚的蒸发功率也可由操作者进行统一的或者单独的调节。

  蒸发电极一端采用十八组铜制内水冷却结构,另一端采用一组铜制外盘管水冷却结构。蒸发坩埚采用导电氮化硼复合材料制成,坩埚的安装采用端部嵌入夹紧的方式。

  铝线馈送装置由交流电机驱动,分别带动十八对磨擦压轮组压送装于送丝盘之上的铝线。磨擦压轮组的压缩力是可调的,可防止压力小而打滑,十八组铝线馈送装置由联轴器接以实现同步送铝线。

  水冷蒸发挡板由水冷却的蒸发防护槽和移动水冷挡板组成,水冷蒸发防护槽固定于蒸发装置的安装底板之上,它主要是用于阻止铝加热蒸镀时的热量向四周及其下面扩散,移动水冷挡板位于水冷蒸发防护槽的上方,即蒸发坩埚的上方。通过真空室外侧的电磁气动装置可将其打开或关闭,它是用于在坩埚进行预加热和蒸镀调整时期隔绝热源对基体材料的长时间的幅射。

  镀膜机厂家表示,蒸镀装置的运载小车用于将整个蒸镀装镀装置送入或移出真空工作室,以方便于进行更换坩埚和铝丝操作以及对蒸镀装置清洁处理。小车的内部安装有十八个蒸发用低压大电流变压器,铝线输送驱动电机及减速装置,移动水冷挡板开闭电磁气动装置及蒸镀装置水冷用水水阀,水路分配器及水流继电器。运载小车由电机驱动在导轨上运行,导轨两端均装有限位止动开关。

文章来源:镀膜机 http://www.ydzk.com