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真空工作室结构说明


真空工作室是整台真空镀膜机的中心部件,其内部空间用于在真空状态中卷绕和镀制产品。真空室的结构为一卧式圆柱形筒体,真空室中间中隔板上的橡胶密封条与基体材料卷绕系统的防护隔板紧密配合把它隔离为上,下两个不同功能的真空室。上室为基体材料的卷绕工作室,下室为金属铝蒸发镀膜工作室。

  真空室的两边均为平形封头,左边的封板与蒸发镀膜装置的墙板对接密封,右边的大法兰与基体材料卷绕系统的大墙板对接实现密封。

  真空工作室的正面装有可供观察基体材料卷绕效果和观察制成金属膜层质量的长方形观察视窗,还装有1只可供观察铝丝馈送情况和坩埚蒸发状态的长方形视窗。真空室背面连有2只Φ800毫米的蒸镀室排气主阀及蒸镀室粗真空抽气接口。

  真空室的左侧面开有1个方形的卷绕室排气接口,还装有可供上,下室同时放气的电磁换向气动充气阀。真空工作室装有真空测量规管座以用于测量在进行蒸镀作业时的工作室压力。

  真空室内部的上室内安装有一个备用作深冷的抽气盘管法兰口。真空室的内部还装有可供观察制成膜质量的日光灯和可供蒸镀装置和卷绕系统移动支承的导轨。

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