真空镀膜机根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

　　夹具运转形式有自转、真空镀膜机公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

　　真空系统由机械泵、油增压泵、扩散泵、罗茨泵、增扩泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

　　根据工艺要求选择镀制方式及形式，真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。

　　充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。根据需烘烤的结构提出烘烤温度、溅控溅射镀膜机材质以及所需配备相应仪表测量。

　　根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

　　完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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