真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。真空镀膜机厂家表示，根据工艺要求可自行选择。

　　1、真空测量可选择数字式智能真空计及优质的测量规管，确保真空度的准确性及产品可靠性。

　　2、温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。

　　3、可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等，满足充气压力可控、多路充气等要求。

　　4、可以配备多点记录仪，进行全程工艺分析、质量监控及生产管理。

　　5、根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

　　6、快冷却系统可选择自然冷却及热交换器循环方式，对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统，提高降温速度。

　　7、对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。

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