技术文档

最新镀膜应该如何监控呢?


最新镀膜应该如何监控呢?


最直接的真空镀膜操控办法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器能够直接驱动蒸腾源,经过PID操控循环驱动挡板,坚持蒸腾速率。只要将仪器与体系操控软件相连接,它就能够操控整个的镀膜进程。可是(QCM)的精确度是有限的,有些原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。此外尽管QCM在较低温度下十分安稳,但温度较高时,它会变得对温度十分灵敏。在长期的加热进程中,很难阻碍传感器跌入这个灵敏区域,从而对膜层形成严重差错。
光学监控是高精密镀膜的的首选监控方法,这是由于它能够更精确地操控膜层厚度(假如运用妥当)。精确度的改善源于许多要素,但最底子的原因是对光学厚度的监控。OPTIMALSWA-I-05单波长光学监控体系,是选用直接测控,联系汪博士开发的领先光学监控软件,有用进步光学反应对膜厚度改变灵敏度的理论和办法来削减终极差错,供给了反应或传输的挑选形式和大范围的监测波长。格外适合于各种膜厚的镀膜监控包含非规整膜监控。


文章整理,镀膜机http://www.ydzk.com/