镀膜机依照真空炉功能不一样来区分！（上）

 真空镀膜机

依照薄膜原理区分，能够分为溅射镀膜、离子镀膜、蒸腾镀膜和化学气相堆积镀膜。依照运用目标能够分为光学镀膜、卷绕镀膜、装修镀膜、太阳能集热管镀膜、刀具镀膜、修建镀膜、导电镀膜等等。

 真空蒸腾镀膜机

蒸腾镀膜机在中国一切镀膜机中是最先开发成功的镀膜机，20世纪50年代中国就现已研发成功，蒸腾镀膜机的品种繁多，有用于镀制光学薄膜的光学镀膜机，首要用于光学器材，激光器材以及微电子器材等，还有选用蒸腾镀膜原理制作的卷绕镀膜机，用于装修装修、电子器材包装等各行各业。

 溅射镀膜机

离子靶材，使其被溅射出来堆积到基片上构成薄膜。溅射镀膜机可镀制ITO导电膜、介质膜、半导体膜、金属膜、磁性膜、高温超导膜、单晶膜、装修膜等多种薄膜，如用于电子职业大规模集成电路和光盘、磁盘薄膜的镀制。用于修建职业的幕墙玻璃薄膜，电子职业的电容器薄膜，航空航天器中的固体光滑膜，动力方面的太阳能电池，以及气体、包装、红外技能等多个职业。

离子镀膜机

离子镀膜机可分为电弧离子镀膜、射频放电离子镀膜、空心阴极离子镀等等，离子镀由其镀膜原理决议了其堆积速度快，镀层质密，膜层附着性好等特色。被广泛用于东西、模具等职业，可镀制金属膜、硬膜、仿金膜等等。

化学气相堆积机

化学气相堆积机是以化学反应的办法制膜，可用于镀制外表保护膜以及半导体和电子资料。

离子束刻蚀机

刻蚀作为半导体工业中的超精细加工技能，跟着大规模集成电路的集成度的添加而变成不行短少的重要机。离子束刻蚀技能与其他化学腐蚀、等离子体溅射等技能比较，对加工资料没有选择性、能够进行超微细加工，能够刻蚀非常精细的沟槽，刻蚀的图形边际明晰，精确度高。离子束刻蚀机可分为立式和卧式，国产机真空体系首要以油分散泵加水冷挡板为主，国外较多选用低温泵抽气体系。

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