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真空镀膜机体系作业时温度过高怎样处理?


真空镀膜机体系作业时温度过高怎样处理?


缘由剖析:


1.缺油


2.抽气口与排气口过错衔接


3.供油管线阻塞


4.油泵出现问题


5.油泵中外来物阻塞


6.环境温度到达或超过油蒸汽压


7.油蒸汽压低于目标


8.作业气体温度过高




处理方法:


1.加油


2.抽气管线与抽气口衔接


3.断开泵衔接,清洁并替换符合要求的油


4.修补或替换油泵


5.整理油泵


6.下降环境温度并注意空气流通


7.替换符合要求的泵油


8.更改技术或加冷却体系


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