真空镀膜机体系作业时温度过高怎样处理?
缘由剖析:
1.缺油
2.抽气口与排气口过错衔接
3.供油管线阻塞
4.油泵出现问题
5.油泵中外来物阻塞
6.环境温度到达或超过油蒸汽压
7.油蒸汽压低于目标
8.作业气体温度过高
处理方法:
1.加油
2.抽气管线与抽气口衔接
3.断开泵衔接,清洁并替换符合要求的油
4.修补或替换油泵
5.整理油泵
6.下降环境温度并注意空气流通
7.替换符合要求的泵油
8.更改技术或加冷却体系
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