真空蒸腾镀膜机基本参数
布局方式
机主要由镀膜室、蒸腾体系、真空体系、机架、保护设备及电气控制设备组成。
基本参数
机的基本参数应契合表1的规则
项次 参数称号 参数数值
1 镀膜室尺度分档,mm 320*,500*,600,630*,700,800*,900,1000*,1200,1200,1350,1600*,1800,2000*,2200,2500
2 真空目标 分档 A B
极限压力,Pa ≤5*10-4 ≤5*10-3
康复真空抽气时刻,min (从大气压抽至7*10-3Pa)≤15 (从大气压抽至7*10-2Pa)≤8
升压率,Pa/h ≤8*10-1 ≤2
3 工件烘烤设备烘烤温度调理规模 室温至200度,室温至300度,室温至350度,室温至400度
4 有用加热区加热均匀度 ≤5%
注
1、所列镀膜室的几许尺度,对圆柱式室体为圆柱内径;对箱式室体为箱体内宽度。带*号尺度优先选用,其他尺度和其他布局方式的机可由制造厂参照上述尺度决议。专用机由用户与制造厂另订协议。
2、本尺度分档作为推荐值,不作查核
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