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真空镀膜机未来的新的发展


真空镀膜机的开展适当敏捷,跟着出产率的前进,出产费用大大下降,现已为真空镀膜商品的遍及运用铺平了路途。以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,当前已达2253mm。基材卷筒的最大卷径是1000mm,最大卷绕速度750m/min。主动装卸的半接连卷绕式真空镀膜机镀膜时刻占整个周期的75%,辅佐操作时刻只占25%。功率更高的从大气到大气的卷绕式真空镀膜机已于1977年出售。跟着计测技术、操控技术的前进和电子计算机的运用,卷绕式真空镀膜机正向着高度主动化和高度可靠性的方向开展。




 真空镀膜机真空镀膜机能够堆积的镀膜层厚度规模为0.01-0.2μm,能够在这个规模内挑选,有的还能够镀多层膜,满意多种需求。日本专利提出堆积两种不一样镀膜资料的卷绕式蒸镀设备。该设备的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸腾源蒸腾的镀膜资料别离堆积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器发生的辉光放电气体能避免塑料薄膜起皱。运用这套设备能够在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。