真空镀膜机：原理和各部件分析（上）

一、真空主体——真空腔依据加工商品需求的各异，真空腔的巨细也不一样，当前使用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢" target=_blank>不锈钢资料制造，需求不生锈、坚实等，真空腔各部分有衔接阀，用来衔接各抽气泵浦。

   二、辅佐抽气体系：排气体系为镀膜机真空体系的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大多数组成。此排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状况，为分散泵后继抽真空供给条件，之后当分散泵抽真空腔的时分，机械泵又合作油分散泵组成串联，以这样的办法完结抽气动作。

   机械泵：也叫前级泵，机械泵是使用最广泛的一种低真空泵，它是用油来坚持密封效果并依托机械的办法不断的改动泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断胀大然后取得真空。

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