真空镀膜机的选用要点

真空蒸腾镀膜机依据技术需求挑选不一样标准及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸腾、电子束蒸腾、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

   夹具工作方法有自转、车灯镀膜机公转及公转+自转方法，用户可依据基片尺度及形状提出相应需求，转变的速度规模及转变精度：一般可调及变频调速等。

   真空体系由机械泵、分散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

   依据技术需求挑选镀制方法及方法，如电阻蒸腾（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）多弧离子镀膜机以靶材原料及尺度多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空丈量可挑选数字式智能真空计及其优质的丈量规管，及其它丈量仪器，如主动压强操控仪等。膜厚丈量可选用方块电阻丈量仪，透过率计等。

   充气方法可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，并可挑选多路充气管路及相应流量参数。  依据需烘烤的布局提出烘烤温度、溅控溅射镀膜机原料以及所需装备相应外表丈量。

   依据设备运用特色，可挑选手动、半主动、全主动或其组合的操控方法。

   完善的报警体系，对真空室体、分散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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