真空蒸发镀膜技能是最古老的
真空蒸腾镀膜技能是PVD发展中最早的，使用也是最广发的镀膜机，再后来的发展中，溅控溅射镀膜镀膜机还有离子镀膜机都超过了真空蒸腾镀膜机，可是他的长处仍是无法替代的，其间最重要的长处即是设备和技能都比较简单，镀出来的都是十分纯洁的膜层，并且，能够指定布局和格外性质的膜层，这是其他镀膜机无法满意的，仍然是当今十分重要的镀膜技能。这些年，因为电子炮击蒸腾，高频感应蒸腾及激光蒸腾等技能在蒸腾镀膜技能中的广泛使用，使这一技能更趋完善。
将膜材置于真空镀膜室内，经过蒸腾源加热使其蒸腾，当蒸腾分子的平均自由程大于真空镀膜室的线性尺度时，蒸汽的原子和分子从蒸腾源外表逸出后，很少遭到其他分子或原子的冲击阻止，可直接抵达被镀的基片外表，因为基片温度较低，便凝聚其上而成膜，蒸腾镀膜机在温度上，挑选的时分我们需求注意，对超温、温度误差大、炉体、泵、热交换器等缺水、分散泵缺相、炉体充气过压、气源压力缺乏、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并履行相应保护措施，快冷却系统可挑选天然冷却及热交换器循环方法，关于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统，进步降温速度。
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