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监控镀膜机有哪些方法?


监控镀膜机有哪些办法?     


      咱们都晓得在真空镀膜设备作业的过程中,需求长时间监控,由于镀膜的商品在镀膜过程中方位会发生改变,若是不及时更正过来,就会糟蹋资料,那么真空镀膜机作业的办法到底有哪些呢? 


     1.目视监控:运用双眼监控,由于薄膜在成长的过程中,由于干涉现象会有色彩改变,咱们即是依据色彩改变来操控膜厚度的,此种办法有必定的差错,所以不是很精确,需求依托经历


     2.极值监控法:当膜厚度添加的时分其反射率和穿透率会跟着起改变,当反射率或穿透率走到极值点的时分,就可以晓得镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。可是极值的办法差错对比大,由于当反射率或许透过率在极值邻近改变很慢,亦即是膜厚ND添加许多,R/T才有改变。反映对比活络的方位在八分之一波利益。


     3.定值监控法:此办法使用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率(或许穿透率)是多少,此即为中止镀膜点。