真空溅射镀膜设备行业规范

1、范围
本规范规则了真空溅射镀膜设备的型号和根本参数，技术请求，实验办法，检验规则，标志、包装、运输和储存等。
本规范适用于压力在1*101～5*10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。

2、型号与根本参数
2.1 设备的型号应契合JB/T7673规则。
2.2设备的根本参数应契合表1的规则。

参数称号    参数数值 

                                                              A                                                     B

极限压力Pa                                   ≤5*10-4                                        ≤5*10-3

恢复真空抽气时间min       从大气压至7*10-3 Pa ≤20         从大气压至7*10-2 Pa ≤10

升压率Pa/h                                  ≤8*10-1                                             ≤2.5

溅射电流变化率                          <正负5%

3、技术请求
3.1设备正常工作条件
3.1.1温度：10度-30度
3.1.2相对湿度：不大于75%
3.1.3冷却水进水温度：不高于25度
3.1.4冷却水质量：城市自来水或质量相当的水
3.1.5供电电源：380V、三相四线制、50Hz，电压动摇范围：361~399V,频率动摇范围：49～51Hz.
3.1.6环境：室内应整洁；空中、天花板及设备四周墙壁应洁净；空气应清洁，不应有可惹起电器及其他金属件外表腐蚀或惹起金属间导电的尘埃或气体存在。

3.2构造请求
3.2.1设备中静、动密封圈的构造方式及尺寸应契合GB/T6070和JB/T1090-1092的规则。
3.2.2真空管道上和镀膜室靠近排气口位置上应装真空测试非常规管，分别丈量各部位的压力。
3.2.3假如设备以油扩散泵或油扩散放射泵为主泵，应在其进气口一侧装置油蒸气捕集阱。
3.2.4镀膜室应设有察看窗，对在镀膜过程 中发作射线的设备，察看窗上应加装防射线镜片。
3.3制造质量
设备的制造质量请求按GB/T11164-1999中的4.4
3.4平安防护请求
设备的平安防护请求按GB/T11164-1999中的4.5
4、实验办法
4.1极限压力
4.1.1实验条件
a）镀膜室内为空载（即不放被镀物品，也不停止溅射），不得拆去设备正常工作时应装置的溅射源、工件支架等部件；
b）真空丈量规管应装于镀膜室靠近排气口位置上；
c）允许在抽气过程中用设备自身配有的加热或轰击安装对镀膜室停止除气。
4.2镀膜室恢复真空抽气时间
4.2.1实验条件
按4.1.1。
4.3升压率
4.3.1实验条件
按4.1.1
4.3.2实验办法
按GB/T11164-1999中的5.3.2

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