技术文档

确定真空泵类型的原则介绍


  据真空镀膜机厂家介绍,喷射式真空泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而滑阀式真空泵定。

 

  泵工作时,需要注意真空泵以下两个方面:

 

  1、尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

 

  2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无水环式真空泵法工作。

 

  根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵通常不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上立式真空泵,可干式真空泵选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。

 

文章整理:真空镀膜机http://www.ydzk.com