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罗茨真空泵选用注意事项


  真空镀膜机厂家表示,罗茨真空泵的选用要注意以下事项:

 

  1、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

 

  2、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

 

  3、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

 

  4、正确地组合罗茨真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

 

  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,也能达到清洁真空要求。

 

  6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

 

  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

 

  8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

 

文章整理:真空镀膜机 http://www.ydzk.com