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简单介绍罗茨真空泵机组的优点
2013-08-09
by 粤东真空
真空镀膜机
厂家表示,罗茨真空泵机组具有以下优点:
启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高,对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1K帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此,它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间,用来提高中间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。
文章整理:真空镀膜机
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