技术文档

简单介绍罗茨真空泵机组的优点


  真空镀膜机厂家表示,罗茨真空泵机组具有以下优点:

 

  启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高,对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1K帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此,它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间,用来提高中间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。

 

文章整理:真空镀膜机 http://www.ydzk.com